北方華創：14納米實現與國外設備同步驗證

5月23日舉行02重大專項成果發布會，北方華創作為02專項的重點承擔單位，通過近九年的科技攻關，完成了刻蝕機、磁控濺射、氧化爐、低壓化學氣相沉積、清洗機、原子層沉積等集成電路設備90/55/40/28納米工藝驗證，實現產業化。

北方華創的刻蝕機等三大類集成電路設備進入14納米工藝驗證階段，首次實現與國外設備同步驗證。在02專項支持下，12英寸集成電路設備實現從無到有，批量銷售，成為公司的主要收入來源之一。并通過02專項成果擴展應用，公司成為LED、光伏等泛半導體設備國際主流供應商，近幾年的銷售收入平均增速達到40%。

北方華創是承擔02專項裝備項目最多的單位，同時也是零部件的最大用戶。因此，公司與上下游交流的機會很多，不但增進了相互信任，也帶來了商機。

中芯國際作為北方華創的驗證單位，承擔了公司大部分專項的驗證工作，雙方建立了緊密的合作關系。中芯國際在開發28納米工藝初期，根據自身工藝的特點，需要一種單片快速退火設備，基于雙方的了解，主動提出由北方華創來開發此設備。雙方進行了深入的交流，在不到一年的時間里，成功完成設備開發及工藝驗證，成為中芯國際28納米生產線基線配置產品，實現批量銷售。

此外，通過與本土零部件企業合作，大幅提升了設備的性價比，在LED、光伏等領域全面替代進口產品，不僅增加了客戶效益，也提高了企業的經濟效益，成為海內外主流產品。